电子级氯化氢的制备工艺比其他规格氯化氢产品的要求都要严格。通常制备电子及氯化氢的方法有三种:发生法、盐酸脱析法、合成法。今天简单介绍一下常见的合成法制备电子及氯化氢的工艺流程及优劣对比。
七十年代以前,电子工业用高纯度氯化氢的制备一直是将浓硫酸滴加到浓盐酸中,将其中的水吸收掉,使得过饱和的氯化氢气体析出。到了七十年代到八十年代初期,制备方法发展到用浓硫酸与焙烘干的食盐反应,生成高纯度的氯化氢气体,再用压缩机压入钢瓶中。
用氯和氢在合成炉中进行燃烧反应生成氯化氢气体是八十年代初为适应我国电子工业的迅速发展而提出的,在技术上较为先进,由合成炉出来的氯化氢气体经常温、低温干燥和吸附净化,在低温、低压下冷凝,排除不凝气体杂质,以液态装瓶。氯、氢合成中,氢过量5%左右,氯化氢气体中含氢高,以间歇精馏装置除氢。此外,原料氢是经钯膜扩散提纯,生产规模受到一定限制。
淄博言赫特气有限公司所生产的5.0N电子级(VLSI)氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,产品性能指标与国际品牌相当。