工艺流程如下:原料氢气由电解阴极室出来后经冷却、洗涤,大大降低了气相温度,消除了气相中央带的碱雾杂质,由输氢压缩机送往气柜,其氢气纯度在98%以上,经气液分离及阻火装置进入合成炉燃烧器。
原料氯气由电解阳极室出来后经冷却、干燥、净化,用氯气离心式压缩机送至本工序氯气缓冲器,并经节流稳压调节,氯气压力为0.IMPa·进入合成炉燃烧器,其氯气纯度95%以上,含氢0.4以下。也有使用液化尼气,送往本工序尾气缓冲器,经节流调节进入合成炉燃烧器,其氯气纯度70%以上,含氢3.5%以下。
原料氯气和氢气经节流控制,以1.0︰1.05~1.10的比例在石英或铁制的套筒式燃烧器中混合燃烧。石英的传热较慢,套筒口移蓄的热量不易散失,能经常保持引发温度以使合成反应持续进行。合成后的氯化氢气体中心温度在1000以上。炉壁温度也可达400~500℃,经空气导管冷却至156以下进入圆块式石墨冷却器,用工业水冷却,把出冷却器的气相温度降至常温.然后一部分进降膜式吸收塔.与来自尾部吸收塔的稀盐酸经分液管并流而下,吸收成3l%盐酸去贮槽;未被吸收的氯化氢尾气与顶都加入的吸收水在尾气填料塔中逆流接触。被吸收成1l%左右的稀酸去降膜式吸收塔,合格的尾气由鼓风机抽送放空,另一部分氯化氢经冷冻干燥除雾.由纳氏泵压送至氯乙烯合成.
公司现有年产2000吨高纯氯化氢生产线,连续批量生产应用于单晶硅外延片制造的5N(99.999%)电子级(VLSI)氯化氢,以及应用于医药中间体、农药及精细化学品制造的2.8N(99.8%)化学级氯化氢。产品性能先进,质量稳定,处于国内领先地位,达到国际先进水平。钢瓶装电子级氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,符合国家标准GB/T24469-2009。2003年10月通过北京市科委科技成果鉴定,获得国家授权专利,具有自主知识产权。