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氯化氢气体的泄漏
打印本页   发布时间 : 2013-9-5 14:39:30
   氯化氢气体泄漏事故给我们带来的生产损失,以及对相关操作、接触人员所造成的伤害是不可轻视的。所以对于氯化氢气体泄漏要引起大家重视。
  作为半导体晶圆代工厂氯化氢气体的运用者,每一位工作人员都应该在运用前对各种氯化氢气体的安全数据加以晓得,而且应该晓得怎么应对这些氯化氢气体外泄时的紧迫处置顺序。
  通常来讲,咱们将有三重保证来防备万一有意外发作的氯化氢气体外泄进入到工作环境中。一个是氯化氢气体的气瓶以及悉数颠末正负压测漏的气体运送管路;第二个是继续不断的排气抽风体系(Exhaust),管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风体系,以保证每一管路节点外围都处于负压环境。若发作微量的有毒气体的走漏,排气抽风体系将第一时间抽出;别的一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器体系,若发作任何氯化氢气体的走漏将会被气体侦测体系所侦测到,这个操控体系将依据气体外泄对人体损害的巨细来断定整个氯化氢气体运送体系的关联互锁举措,严峻时紧迫封闭上游所有气源,一起会驱动中央操控室和现场的关联报警体系LAU,甚至会驱动全厂的主动语音播送体系告诉当即分散,需求关联人员敏捷撤离报警区域。因而只需工程技能人员严厉依照所拟定的规范作业顺序操作,所有这些安全设备都将保证人员不会有安全上的顾忌。
  每个氯化氢气体的相关接触人员,都应该熟悉掌握氯化氢气体的一切危险性质,以及发生氯化氢气体泄漏事故的应急处理方法。淄博言赫特气有限公司电子级(VLSI)氯化氢产品生产装置于2003年投产,经北京市科委鉴定,主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造。期待大家的光临。
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