氯化氢

    解吸法和盐酸脱析法制备氯化氢工艺简单可大规模生产，但制备的氯化氢气体纯度偏低，越来越不能满足电子工业尤其是集成电路的要求。合成法生产的氯化氢气体纯度较高，但其中水含量高，腐蚀严重，对设备要求高，生产成本高。

    考虑到环保及工业副产品回收利用等多方面因素，石油化工副产氯化氢提纯法生产高纯氯化氢确实是大势所趋，而且用这个方法无须外加反应介质，从而避免了其他杂质的引人，而且操作简单，生产成本低。但是我国在这项技术上还不成熟。我国电子工业所用高纯氯化氢大多是从美、日等国进口，且价格昂贵 ，随着电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的发展，高纯氯化氢已广泛地应用在大规模集成电路制备中，所以我们需要对高纯氯化氢的制备方法和生产工艺做进一步的研究和完善。

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