电子特种气体氯化氢国产化
打印本页 发布时间 : 2012-2-23 7:47:54
近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。记者在不久前召开的全国特种气体第十四次年会上了解到，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开国内市场。 高纯氨作为电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究设计院总工程师孙福楠介绍说，2010年，国产高纯氨在太阳能领域发挥了巨大的作用。由于国产高纯氨进入市场，改变了国外气体公司垄断市场的局面。
