高纯氯化氢具有纯度99.99%。无色气体,对人体皮肤产生强烈刺激,有令人窒息的刺激性臭味。极易被水吸收,生成强腐蚀性盐酸。
并且极易在乙醇和乙醚中分解,与许多有机物质反应迅速。制法主要有两种,一种是采用纯氯和纯氢燃烧反应,合成氯化氢气体、经催化转化,吸附、精馏提纯;一种是以工业氯化氢为原料,经吸附,低温精馏提纯,冷凝液化充瓶。
高纯氯化氢用于电子工业中外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子;还用于金属表面化学处理;激光用混合气,胶片生产及碳纤维表面处理。
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